臭氧发生器产生臭氧的方法有紫外照射法、电解法、放射化学法和介质阻挡放电法。紫外照射法利用紫外线照射干燥的氧气，使一部分氧分子被激活离解成氧原子，进而形成臭氧。在紫外线照射氧气的过程中，既有使氧变成臭氧的光波，也有使臭氧分解的光波。因此臭氧的产量将取决于产生臭氧的波长与分解臭氧波长的比值。紫外照射法产生臭氧的缺点是能耗高、臭氧浓度低，因此紫外照射法用于大量生产臭氧是不现实的。但由于该方法重复性好，对温度不敏感，且易通过灯的功率的线性控制改变臭氧的产量。所以，对少量低浓度要求的试验，空气、灭菌、除臭等，还是适合的。
电解法利用直流电源电解含氧电解质产生臭氧。八十年代以前，电解液多为水内填加酸、盐类电解质，电解面积比较小，臭氧产量低，运行费用高。经过人们对板材料、电解液与电解机理、过程方面的大量研究，电解法制臭氧有了很大的进步。近来发展的SPE(固态聚合物电解质)电与金属氧化催化，使电解纯净水得到以上的高浓度臭氧。电解法产生臭氧具有浓度较高、成份纯净、水中溶解度高的优势，经过进一步改进，设法降和电耗后，有可能与目前使用的介质阻挡放电法相竞争。
放射化学法利用放射源核辐射离解氧分子生成臭氧。该法己有两种工艺用于工业型臭氧生产，一是氧同裂变产物接触，由辐射、氧同裂变产物及二次辐射的热碰撞产生臭氧.二是在辐射下生成臭氧。该方法因采用放射源其成本高、性差，只适用于某些情况，不适合于工业大量生产。
介质阻挡放电法，也称无声放电法(简记为DBD法)，通过交变高压电场在气体中产生电晕，电晕中的自由电子离解氧气分子，经碰撞聚合为臭氧分子。介质阻挡放电法具有能耗相对较低，单机臭氧产量大，气源可用干燥空气、氧气或含氧浓度较高的富氧气体等优点，因此工业上合成臭氧大多采用此法。根据文献，将干燥的空气或氧气通过两个高压电之间的气隙，在外加交流高压的作用下，气体中发生电晕放电，气体被电离，气隙中的氧原子急剧增加，与氧分子结合，生成臭氧。
高浓度臭氧水一体机--济南浩恒环保科技有限公司是一家专注生产臭氧发生器及另部件的知识型企业，公司有中、高频高压数字电源；臭氧高低压电双冷放电，高浓度臭氧产生与控制；废水、废气臭氧处理；高浓度臭氧水混合与应用；HVAC空间消杀菌、制药GMP空间处理、食品QS车间处理等多项科研成果。所具有的臭氧检测实验室，臭氧应用实验室，可根据客户的不同需求，提供臭氧工程的设计、设备的安装、调试、维护等服务。
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